亲眼见证创新4200A-SCS 是一种可以量身定制、全面集成的参数分析仪，可以同步查看电流电压 ( I - V )、电容电压 ( C - V ) 和超快速脉冲式 I-V 特性。作为性能高的参数分析仪，4200A-SCS 加快了半导体、材料和工艺开发速度。
4200A-SCS ClariusTM 基于 GUI 的软件提供了清楚的、不折不扣的测量和分析功能。凭借嵌入式测量专业知识和数百项随时可以投入使用的应用测试，Clarius Software 可以更深入地挖掘研究过程，快速而又满怀信心。
4200A-SCS 参数分析仪可以根据不同用户需求进行灵活配置，不管是现在还是未来，都可以随时对系统进行升级。通过 4200A-SCS 参数分析仪，通往发现之路现在变得异常简便。
一、 功能
l 参数查看，快速清晰
4200A-SCS 参数分析仪可将检定和测试设置的复杂程度降低高达50%，提供清晰且不折不扣的测量和分析功能。另外，嵌入式测量专业知识（业界首创）可提供测试指南并让您对结果充满信心。特点如下：
· 内置测量视频采用英语、中文、日语和韩语
· 使用数百个用户可修改应用测试开始您的测试
· 自动实时参数提取、数据绘图、算数函数
l 测量、 切换、 重复
4200A-CVIV 多通道切换模块自动在 I-V 和 C-V 测量之间切换，无需重新布线或抬起探头端部。与竞争产品不同，四通道 4200A-CVIV 显示器提供本地可视查看，可快速完成测试设置，并在出现错误的结果时轻松排除故障。特点如下：
· 无需重新布线即可将 C-V 测量移动到任何设备终端
· 用户可配置低电流功能
· 个性化输出通道名称
· 查看实时测试状态
l 检定、 自定义、 大化
简单地说，4200A-SCS 可以完全自定义且全面升级，您可以对半导体设备、新材料、有源/无源组件、晶片级可靠性、故障分析、电化学或几乎任何类型的样本执行电气检定和评估。特点如下：
· NBTI/PBTI 测试
· 随机电报噪声
· 非易失内存设备
· 稳压器应用测试
l 带分析探测器和低温控制器的集成解决方案
4200A-SCS 参数分析仪支持许多手动和半自动晶片探测器和低温控制器，包括 Cascade MicroTech、Lucas Labs/Signatone、MicroManipulator、Wentworth Laboratories、LakeShore Model 336 低温控制器。特点如下：
· “点击”测试定序
· “手动”探测器模式测试探测器功能
· 假探测器模式无需移除命令即可实现调试
l 降低成本并保护您的投资
吉时利保障计划以按需服务事件的一小部分成本提供快速、高质量的服务。 只需点击一下或拨打一个电话即可获得维修服务，在此过程中，无需报价或填写采购单，也不会有审批延误。
l 半导体可靠性
在执行复杂的可靠性测试时，4200A-SCS 可以帮您处理复杂的编码工作。内含热载波注入劣化 (HCI) 等项目，使您能够快速开始设备分析。特点如下：
· 只需一组测试，即可满足您的直流 I-V、C-V 和脉冲测量需求
· 支持多种探头站和外部仪器
· 循环系统易于使用，允许在无需编码的情况下重复测试
l 提供适合高阻抗应用的 C-V 测量功能
采用 Keithley 的自定义极低频 C-V 技术分析高电阻样本的电容。该技术可通过仅使用源测量单元 (SMU) 仪器实现应用，同时可与 4210-CVU 结合使用，执行更多频率测量。特点如下：
· .01 ~ 10 Hz 频率范围，1 pF ~ 10 nF 灵敏度
· 3½ 位典型分辨率，小典型值 10 fF
l 非易失内存
通过全面脉冲 I-V 检定在测试中利用新技术。4200A-SCS 为新 NVRAM 技术提供支持和即用型测试，从浮动门电路闪存到 ReRAM 和 FeRAM，不一而足。电流和电压双源和测量功能同时支持瞬态和 I-V 域检定。
l VCSEL 测试
4200A-SCS 中的多个并行源测量单元 (SMU) 仪器可简化激光二极管测试。仅使用一台机器连接即可生成 LIV（光强-电流-电压）曲线。高级探头站和开关支持使您能够使用相同的仪器对单个二极管或整个阵列进行晶圆生产测试。SMU 可配置为高达 21 W 容量，适用于多种连续波 (CW) VCSEL 应用。
l 纳米级设备检定
4200A-SCS 的集成仪器功能可简化碳纳米管等纳米级电子器件开发方面的测量要求。从预配置测试项目开始着手，逐步扩大您的研究工作范围。 SMU 的脉冲源模式可帮助缓解过热问题，数秒内即可完成与低电压 C-V 和超快速脉冲直流测量的组合。
l 材料电阻率
使用集成了 SMU 的 4200A-SCS，可通过四点同轴探头或范德堡法轻松测量电阻率。内含测试可自动重复执行范德堡计算，节省您宝贵的研究时间。10aA 的大电流分辨率和大于 1016 欧姆的输入阻抗可提供更准确和精准的结果。
l MOSFET 检定
4200A-SCS 可容纳所有必要的仪器，用于通过组件或晶圆测试执行全面的 MOS 设备检定。内含测试和项目可以解决 MOSCap 的氧化物厚度、门限电压、掺杂浓度、移动离子浓度等问题。只需触摸一个仪器盒中的按钮，即可运行所有这些测试。
一、 主要性能指标
l I-V 源测量单元 (SMU)
± 210 V/100 mA 或 ± 210 V/1 A 模块
100 fA 测量分辨率
选配前端放大器提供了 10 aA 测量分辨率
10 mHz - 10 Hz 超低频率电容测量
四象限操作
2线或4线连接
l C-V 多频率电容单元 (CVU)
AC 阻抗测量 (C-V, C-f, C-t)
1 kHz - 10 MHz 频率范围
±30V(60V差分)内置DC偏置源，可以扩展到±210V (420 V 差分 )
选配 CVIV 多通道开关，在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换
l 脉冲式 I-V 超快速脉冲测量单元 (PMU)
两个立的或同步的高速脉冲 I-V 源和测量通道
200 MSa/s，5 ns 采样率
±40 V (80 V p-p)，±800 mA
瞬态波形捕获模式
任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率
l 高压脉冲发生器单元 (PGU)
两个高速脉冲电压源通道 ● ±40 V (80 V p-p)，± 800 mA
任意波形发生器，支持多电平脉冲波形，10 ns 可编程分辨率
l I-V/C-V 多通道开关模块 (CVIV)
在 I-V 测量和 C-V 测量之间简便切换，无需重新布线或 抬起探针
把 C-V 测量移动到任意端子，无需重新布线或抬起探针
支持 ±210 V DC 偏置源
l 远程前端放大器 / 开关模块 (RPM)
在 I-V 测量、C-V 测量和超快速脉冲 I-V 测量之间自动切换
把 4225-PMU 的电流灵敏度扩展到数十皮安
Tel:021-64283335
Email:admin@shnti.com
规格参数
