CG高低温真空探针台能够实现样品在真空高低温环境下的精确电性、光强、波长、磁场等测试，其在超低温，超高真空，自动控制，激光模拟方面发挥着独有的技术优势
基本信息
产品型号 SCG-O-4 工作环境 高低温真空环境 电力需求 AC220V,50~60HZ 操控方式 手动探针台 产品尺寸 1100*1100*530mm 设备重量 约190KG 应用方向
CG高低温真空探针台在高低温真空环境下的芯片测试、LD/LED/PD测试、光纤光谱特性测试、材料/器件的IV/CV特性测试、霍尔测试、电磁输运特性、高频特性测试等
常见2种应用需要真空测试环境
极低温测试:
晶圆在低温大气环境测试时，空气中的水汽会凝结在晶圆上，会导致漏电过大或者探针无法接触电极而使测试失败。避免这些需要把真空腔内的水汽在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。同时由于真空绝热作用可以有效提高制冷效率。
高温无氧化测试：
当晶圆加热至300℃,400℃,500℃甚至更高温度时，氧化现象会越来越明显，并且温度越高氧化越严重。过度氧化会导致晶圆电性误差，物理和机械形变。避免这些需要把真空腔内的氧气在测试前用泵抽走，并且保持整个测试过程泵的运转。
晶圆测试过程中温度在低温和高温中变换，因为热胀冷缩现象，定位好的探针与器件电极间会有相对位移，这时需要针座的重新定位，针座位于腔体外部。我们也可以选择使用操作杆控制的自动化针座来调整探针的位置。
型号 SCG-O-2 SCG-O-4 SCG--C-2 外形 900*900*530mm 1100*1100*530mm 1100*1100*1030mm 重量 约170KG 约190KG 约290KG 电力需求 AC220V,50~60HZ 样品台 尺寸 2英寸 4英寸 2英寸 样品固定方式 真空导热硅脂/弹簧压片 样品台移动 固定的样品台 真空度 10^-10torr最高真空 光学特性 显微镜行程 2*2英寸 4*4英寸 2*2英寸 放大倍数 变焦：7:1分辨率4μm (放大倍数216X)或者选用金像显微镜（20X~1000X） 真空腔观察窗尺寸 2inch 4inch 2inch CCD像素 50W（模拟）/200W（数字）/500W（数字） 温控规格 制冷方式 液氮/液氦 制冷压缩机 控制方式 开循环手动/自动冷媒流量控制 闭循环自动控制 控温范围 77K~450K 4.2K~450K 控温分辨率 0.001K 温度稳定性 4.2K ±0.2K 77K ±0.1K 373K ±0.08K 473K ±0.1K 823K ±0.2K(可选） 973K ±1.0K(可选） 常温到8K冷却时间 90min 150min 8K到常温升温时间 90min 90min 常温开始的升温时间 100℃ 150℃ 200℃ 30min 50min 80min 加热电源 LVDC 低压直流 传感器 硅二极管 传感器数量 样品台，防辐射屏，探针臂各一个 功率 50W/100W/500W/1000W 点针规格 探针数量 2个/4个/6个 探针调节 真空波纹管外部调节，手动控制 点针精度 2微米 X-Y-Z行程 25mm-25mm-25mm 漏电精度 10pA/100fA 接口形式 三轴/SMA/K/光纤接口 Tel:021-64283335
Email:admin@shnti.com
规格参数
