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Park XE15 features
2D Flexure-Guided Scanner with 100 µm x 100 µm Scan Range
XY轴扫描器含有对称的二维柔性和高强度压电叠堆，可在保持平面外运动最少的情况下，实现高正交运动以及纳米级样品扫描下的高响应度。
Flexure-Guided High Force Z Scanner凭借着高强度压电叠堆和柔性结构，其可以允许扫描器以更高的速度纵向移动，这是传统原子力显微镜中扫描器所无法做到的。最大Z轴扫描范围可从标准的12 µm增至40µm（选购远距离Z轴扫描器）。
Slide-to-Connect SLD Head
燕尾式轨道设计，轻松更换原子力显微镜镜头。借助超辐射发光二极管(SLD)的低相干性，显微镜可精确成像高度反光表面和精密测量pico-Newton力对距离光谱。此外，超辐射发光二极管的波长也解决了干扰问题，让用户可随意在可见光谱实验中使用原子力显微镜。
Multi-sample Chuck
特别设计的多样品卡盘，可装载多达16个样品，可由MultiSample自动扫描模式按序扫描。借助独特的镜头设计，用户可从侧面轻易操作样品和探针。
Motorized XY Sample Stage with Optional Encoders
在一体式电动XY轴样品台的精确控制下，样品的测量定位变得简单。XY轴样品台的形成范围可设定为150 mm x 150 mm或200 mm x 200 mm。加装编码器后，样品台可实现更高的重复定位精度。在配备编码器后，XY轴样品台的行程精度低至1 µm且重复定位精度低至2 µm，而Z轴样品台的行程精度和重复定位精度分别为0.1 μm和1 μm。
High Resolution Digital CCD Camera with Digital Zoom直视同轴高分辨率数字CCD镜头带有数码变焦功能，即便在移动过程中，也能带来更高的清晰度，更高的分辨率。
Z轴样品台和聚焦样品台与悬臂连接，得以操控样品表面，且同时能够保证用户有着清晰的视野。此外，得益于聚焦样品台为电动且可软件控制，因此精密度可适用于透明样品和液体单元应用。
Park XE Control Electronics with DSP Board in Controller原子力显微镜的纳米级信号是由高性能的Park XE电子控制器所控制和处理的。凭借着低噪声设计和高速处理单元，Park XE电子控制器成功实现了True Non-Contact™模式，这是纳米级成像和精确电压电流测量的绝佳选择。
• 高性能处理单元，频率达600 MHz，处理速度高达4800 MIPS
• 低噪声设计，带来精确的电流电压测量
• 全能系统，融合各种扫描探针显微镜技术
• 外部信号获取模块，获取原子力显微镜输入/输出信号
• 最大16幅数字图像
• 最大分辨率：4096 × 4096
• 16位ADC/DAC，频率为500 kHz
• 隔离通过TCP/IP连接的电脑电噪声
规格参数
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